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  • 产品名称：西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器（光致抗蚀剂溶液相应） KS-41A

  • 产品型号：KS-41A
  • 产品厂商：RION日本理音
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简单介绍：
西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器（光致抗蚀剂溶液相应） KS-41A 西南区域代理RION日本理音液体粒子传感器（光致抗蚀剂溶液相应） KS-41A
详情介绍：

液中パーティクルセンサ　KS-41A （フォトレジスト溶液対応）

 

  • 0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やＳＯＧなどから測定可能。
  • *小可測粒径0.15μm、定格流量10mL/min。
  • 粒径区分 (4段階、出荷時)。　0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上
  • 液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力。
  • 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能。 （KE-40B1の機能による)
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