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  • 产品名称：日本Otsuka大塚分光干扰式厚度计SF-3四川成都西崎供应

  • 产品型号：SF-3
  • 产品厂商：日本Otsuka大塚
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简单介绍：
日本Otsuka大塚分光干扰式厚度计SF-3四川成都西崎供应 以非接触的温哈和树脂的超高速实时、高精度的测定 日本Otsuka大塚分光干扰式厚度计SF-3四川成都西崎供应
详情介绍：

製品情報

特　長
  • 非接触、非破壊で厚み測定が可能
  • 反射光学系（片側からのコンタクトで測定が可能）
  • 高速性（*速５ｋHz）且つリアルタイム評価が可能
  • 高い安定性（繰返し精度 0.01％以下）を実現
  • 粗さやハイドープに強い
  • 任意距離に対応が可能
  • 多層構造に対応（*大5層）
  • NGデータ排除機能を内蔵
  • 距離（形状）測定が可能（組込センサー用付属オプション） *
                                                            *測定レンジ内の光学距離測定による

5つの特長

 

測定項目
  • 厚み測定（５層）

 

用途
  • 各種ウェーハ厚み（Silicon、その他化合物ウェーハ）
  • 各種 研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセス組込
  • ウェーハ以外の厚膜部材厚み

 

半導体プロセスへの組み込み例
■ CMPプロセス

 

 

 

■ テンポラリーボンディング

 

 

 

■ バックグラインド

 

 

 

■ ウェットエッチング

 

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