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  • 产品名称：日本SHINKO伸兴超神波高速清洁设备成都代理

  • 产品型号：VUV-HG
  • 产品厂商：日本SHINKO伸兴
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日本SHINKO伸兴超神波高速清洁设备成都代理 日本SHINKO伸兴超神波高速清洁设备成都代理
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クリーニングシステム

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VUV-HG型 超音波高圧クリーナー
VUV-HG型 写真

3ミクロン以上の粉塵の除去
エッジ部の除塵等に*適

CCD、C-MOS、ICパッケージ、LCDモジュール等用


特長
  1. 従来比10倍の高圧超音波エアーを使用することで、より微細で固着質のダストやガラスカレットに対して有効で、3ミクロン以上の粉塵の除去エッジ部の除塵などに*適です。
  2. クリーナヘッドのサイズがW84xD80xH55とコンパクト設計です。(有効長:10mm)
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除塵原理
図1
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除塵テスト及びその結果

社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。


テスト条件

●基材： 液晶用ガラス基板
●粉塵： 3μmスペーサビーズ（ドライ散布）
●吐出空気圧力： 0.1Mpa
●基材とのギャップ： 約1.5mm
●評価方法： 表面検査装置（GI-4600）

図2

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