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  • 产品名称:四川重庆强势供应日本日立HITACHI日立高分辨率FEB测长仪器

  • 产品型号: CG5000
  • 产品厂商:日立HITACHI
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简单介绍:
四川重庆强势供应日本日立HITACHI日立高分辨率FEB测长仪器 四川重庆强势供应日本日立HITACHI日立高分辨率FEB测长仪器
详情介绍:
日本日立HITACHI高分辨率FEB测长仪器CG5000(HITACHI CD-SEM)  的详细介绍

高生产性

此装置革新了运送机器的结构构成(包括装、卸部件以及平台速度和停止精度的提高),实现AF的高速化,通过可变像素实现测长区域的 优化,从而缩短MAM时间,与以往相比,提高了约40%的处理能力。

高分辨率

此装置通过改良电子光学技术及图像处理技术(降噪,改善边缘锐度,图像内部暗部强调),改善了Image Sharpness。

长期稳定性

  • 再现性
    此装置通过电子光学系统的稳定化,以及增加计量类型,可以实现测长区域的可设定性的可变像素,达到较高的再现性。
  • 匹配
    此装置使用平台上的专用样品,通过开发的多种自动校准功能,实现了长期稳定的匹配性能。
    特别是显著改善了CG5000同一型号间的机型差异,实现了生产线管理的稳定化。

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