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  • 产品名称：日本日立HITACHI日立超高分辨场发射扫描电子显微镜，成都强势供应

  • 产品型号：Regulus系列
  • 产品厂商：日立HITACHI
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简单介绍：
日本日立HITACHI日立超高分辨场发射扫描电子显微镜，成都强势供应 日本日立HITACHI日立超高分辨场发射扫描电子显微镜，成都强势供应
详情介绍：
日本日立HITACHI超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列  的详细介绍
  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的佳性能
  • 与现有机型相比分辨率提高了20％左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空样品仓
  • 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V

超高分辨观察

超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV

 
*2

**Regulus8240/8230/8220

项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次电子分辨率 0.8 nm
（加速电压15 kV）
1.1 nm
（着陆电压1 kV）*3 		0.7 nm（加速电压 15 kV）
0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3
着陆电压 0.1～2 kV 0.01～20 kV
放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4
样品台 样品台控制 3轴马达台（可选5轴马达台） 5轴马达驱动
移动范围 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm
Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm
R 360°
T -5～70°
Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm
再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率


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