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产品详情
简单介绍:
日本原装进口SIMCO思美高,扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
日本原装进口SIMCO思美高,扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
详情介绍:
SIMCO ION 扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP静电消除器是一款超低颗粒兼容产品,用于要求精细颗粒管理小于等于100nm的场所的静电消除,包括先进的半导体制造工艺。
特点
规范
5635型AeroBar MP输入电压 | 24 V DC +/- 10% |
---|---|
输出电压 | 高达约13.5kv pp可调 |
安装距离 | 100毫米至1000毫米(无空气吹扫) |
离子生成方法 |
电晕放电方式 MP(脉冲调制)方式调制频率1〜33Hz |
离子平衡 |
自动平衡调整方法 <+/- 10 V由于位置正下方的位置差异<+/- 10 v (600 mm距离) |
电极 | 单晶硅电极可交换 |
吹扫气体 | 清洁干燥空气或N 2 |
*大吹扫压力 | 310 Kpa |
臭氧量 | <0.05 ppm(24小时积分值) |
信号输出 | 报警IO开集输出 |
维 | 高度78毫米x深度34毫米x长度如下 |
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 毫米 |
|
外观 | ABS树脂 |
扩展ISO Class 1,10 nm?
关于扩展ISO等级1,10纳米?ION Systems专门定义了清洁度的定义,以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一个粒径10nm的