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  • 产品名称：日本东丽电气TORAY氧气浓度计

  • 产品型号： MS-500
  • 产品厂商：日本东丽电气TORAY
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简单介绍：
*多可同时测量 8 个点 可以显示从 ppm 级到 100% 的广泛浓度范围。 *适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。 传感器为直插式（真空用 NW 法兰 16/25/40） 高度耐用的传感器涂有特殊涂层，以进一步提高其耐用性。
详情介绍：
测量原理 氧化锆浓缩电池类型
形状 分体式（传感器：壁挂式，传感器：直插式）
显示方式 4位数字显示（浓度显示）
测量范围 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol% O2 10 -20至10 -0 atm
自动量程
可重复性 ±0.5%FS 以内 高于 0-1% 范围和
±1%FS 或 ±0.1ppm，以较大者为准 小于 0-1% 范围
0-1ppm，atm 范围超出保证浓度范围
测量点数 1到8
样气条件 压力 10 -3～200KPa（绝压）
流量 0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（自发扩散状态的测量）
湿度 露点低于环境温度
温度 0 至 100°C
其他 不含腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫化物系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括气体）、油、水分
比较气体 气氛
记录仪输出 仅传输输出
传输输出 RS-232C
报警输出 没有任何
热身时间 6分钟内
尺寸 MS-500（控制器） 92(W)×44(H)×120(D)（不含突起）
MS-510（转换器） 100(W) x 40(H) x 88(D)（不包括突出部分）
传感器单元 SD16NW 全长100mm（传感部分Φ11×39，主体部分Φ40×51）
SD25NW 全长100mm（传感部分Φ11×42，本体部分Φ40×48）
SD40NW 全长100mm（传感部分Φ11×41，主体部分Φ40×49）
大量的 MS-500（控制器） 约0.6公斤
MS-510（转换器） 约0.5公斤
传感器单元 SD16NW 约 0.2 公斤
SD25NW 约 0.2 公斤
SD40NW 约0.35公斤
外部连接 任一真空法兰（NW16、25、40）
使用的电源 24VDC±10%
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