产品名称：日本NCC落尘计数器

“粗颗粒计数器”是一种完全不同的测量设备。

一种可以测量粘附粉尘而不是漂浮粉尘的专用测量仪器。
对10μm以上的粗大颗粒进行分类计数！

你有这方面的问题吗？

• 即使在无尘室内工作，异物的附着也不会减少。
• 虽然它是用粒子计数器管理的，但它不能与缺陷相关联。
• 我想创造一个干净的环境，但我不知道如何管理它。
• 衣服上附着的异物带入对策困难重重。

作为以粗大粒子（10μm以上）对策、粉尘、异物对策为目标的洁净环境构建指标，落尘测量非常有效。

点击此处查看 2021 年 2 月颁布的 ISO14644-17 中描述的 PDR 和 PDRL 之间的关系 

符合ISO14644-9（表面清洁标准）。单击此处查看“落尘计数器”以调查附着的灰尘 

什么是落尘计数器？

这是一种特殊的测量仪器，可以测量落下的灰尘而不是浮尘。对10μm以上的粗颗粒进行分级计数。洁净室中粘附在产品上并引起粉尘和异物缺陷的颗粒，很多都是落尘，其特点是落下速度非常缓慢，并且会不断堆积。

落尘计数器是利用样品收集盘（4英寸硅片）对落在其上的粉尘进行分类计数的装置。测量结果可以在 PC 上显示和保存。由于采样是在硅晶圆上进行的，因此可以在放置晶圆的任何地方进行评估。

*硅晶圆是一种半导体基板，是一种表面平整度和耐热性**的圆盘状样板。

 本产品是专门用于对硅片样品中10μm～100μm的粗颗粒进行分类计数的测量装置。
由于形状和重量，大于 100 μm 的颗粒不适用于硅片样品。
在这种情况下，请尝试“Dusker” 。

落尘计数器阵容

*3) 可选类别中设置的阈值是从校准曲线中获得的值，不能保证计数效率。
*4) 只保证4英寸区域的计数效率，不能保证2英寸区域的计数效率，是有限的。

DTSP10-02	DTSP10-03