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产品详情
简单介绍:
特征
可以将通过热化CVD、蚀刻等在高温区域
产生的可升华废气以气态排出。
UR 系列可以加热到比 HR 系列更高的温度。
由于密封结构配备氦气密封罐装电机,因此非常**。
瞬时停电对策 采取1000msec以内的瞬时停电对策。
优异的耐蚀性
主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
通讯功能
可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用软件和执行计算机通信,可以进行集中监控。
详情介绍:
模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
公安部 | ―――― | ―――― | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
*大 排气速度 |
50赫兹 |
米3 /小时 (升/分钟) |
62 (1030) | 112 (1860) | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | ||
60赫兹 |
米3 /小时 (升/分钟) |
80 (1333) | 126 (2100) | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051 (17,500) | |||
达到压力 | 帕 | 五 | 0.67 | ||||||
*大进气压力 (进气压力) |
大气压*1 | ||||||||
*大排气口压力 (排气压力) |
帕 | 1~大气压 | |||||||
进气口(CE规格) | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | |||||
排气口 | KF40 | ||||||||
大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
电力 | 三相 | VAC (赫兹) | 200 (50/60), 220 (60) | ||||||
当前值 | 常规时间 | 一个 |
7.1 (200V 时) |
11.2 (200V 时) |
7.8 (200V 时) |
12.9 (200V 时) |
15.4 (200V 时) |
||
*大值 | 一个 |
7.3 (200V 时) |
11.8 (200V 时) |
8.1 (200V 时) |
13.8 (200V 时) |
18.9 (200V 时) |
|||
临时冷却水压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
冷却水进/出口压差 | 兆帕 | > 0.1 | |||||||
冷却水流量 | 升/分钟 | > 5.0 | |||||||
吹扫气体 | 初级压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 |